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6610+CL+EDS
2015.05.08 16:11

Water chiller 청소

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1. 문제점

Water chiller의 물이 순환하지 않아 SEM 기기 냉각에 문제 발생


2. 해결책

Air gun이용 water line내 이물질 배출

Chiller 청소

증류수 채움


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